Sorption pump — The sorption pump is a vacuum pump that creates a vacuum by adsorbing molecules on a very porous material like molecular sieve which is cooled by a cryogen, typically liquid nitrogen. The ultimate pressure is about 10 2 mbar. With special… … Wikipedia
Noble diode pump — A noble diode pump is a type of ion pump used in high vacuum applications that employs both a chemically reactive cathode, such as titanium, and an additional cathode composed of tantalum. The tantalum cathode serves as a high inertia crystal… … Wikipedia
Secondary ion mass spectrometry — Infobox chemical analysis name = Secondary ion mass spectrometry caption =CAMECA IMS3f Magnetic SIMS Instrument acronym = SIMS classification =Mass spectrometry analytes = Solid surfaces, thin films related = Fast atom bombardment… … Wikipedia
Reactive-ion etching — (RIE) is an etching technology used in microfabrication. It uses chemically reactive plasma to remove material deposited on wafers. The plasma is generated under low pressure (vacuum) by an electromagnetic field. High energy ions from the plasma… … Wikipedia
vacuum technology — Introduction all processes and physical measurements carried out under conditions of below normal atmospheric pressure. A process or physical measurement is generally performed in a vacuum for one of the following reasons: (1) to remove the … Universalium
ГОСТ Р 52615-2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы — Терминология ГОСТ Р 52615 2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы оригинал документа: 3.1 вакуум (vacuum): Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного. Примечание Давление… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
Ionenzerstäuberpumpe — jondulkis siurblys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. sputter ion pump vok. Ionenzerstäuberpumpe, f rus. ионно распылительный насос, m pranc. pompe ionique de pulvérisation, f … Radioelektronikos terminų žodynas
jondulkis siurblys — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. sputter ion pump vok. Ionenzerstäuberpumpe, f rus. ионно распылительный насос, m pranc. pompe ionique de pulvérisation, f … Radioelektronikos terminų žodynas
pompe ionique de pulvérisation — jondulkis siurblys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. sputter ion pump vok. Ionenzerstäuberpumpe, f rus. ионно распылительный насос, m pranc. pompe ionique de pulvérisation, f … Radioelektronikos terminų žodynas
ионно-распылительный насос — jondulkis siurblys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. sputter ion pump vok. Ionenzerstäuberpumpe, f rus. ионно распылительный насос, m pranc. pompe ionique de pulvérisation, f … Radioelektronikos terminų žodynas